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本发明提供一种衬底处理设备，且更确切地说，提供一种可以在多个衬底上独立地执行工艺的批量型衬底处理设备。所述衬底处理设备包含包括多个分割板及多个连接杆的衬底舟、内部反应管、气体供应单元及排气单元，且将多个衬底加载成与所述分割板分开。...
该专利属于株式会社EUGENE科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社EUGENE科技授权不得商用。

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