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本实用新型公开了一种PECVD沉积槽；其包括底板，底板的两侧均设置有侧板，侧板的上端向外延伸有上边沿，底板设置有若干个与氨气特气管路相连接的第一气孔，底板在第一气孔的两侧均设置有第一挡板，上边沿设置有若干个与硅烷特气管路相连接的第二气孔，上...
该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司授权不得商用。

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