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一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置制造方法及图纸
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文档序号:14487873
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一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置,涉及光束调控光纤消散斑技术,解决现有的激光散斑抑制装置体积结构大、功耗高、结构复杂、操作工艺繁琐的技术问题。本发明由M×N个扫描微镜构成,单个扫描微镜由沿X轴旋转的固定锚点、沿Y轴旋转的固定锚点、...
该专利属于山西大学所有,仅供学习研究参考,未经过山西大学授权不得商用。
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