一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置制造方法及图纸

一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，涉及光束调控光纤消散斑技术，解决现有的激光散斑抑制装置体积结构大、功耗高、结构复杂、操作工艺繁琐的技术问题。本发明专利技术由M×N个扫描微镜构成，单个扫描微镜由沿X轴旋转的固定锚点、沿Y轴旋转的固定锚点、沿X轴旋转的扭转梁、沿Y轴旋转的扭转梁和反射镜面组成；在电磁力或静电力等的驱动下，同步控制所有扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；或独立控制单个扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面为圆形镜面、方形镜面、弧形镜面或其它不规则形状。采用本发明专利技术的激光散斑抑制装置，在达到同样散斑抑制效果的前提下，具有体积小、功耗低、结构简单、便于集成、操作便捷的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光束调控光纤消散斑
，尤其涉及一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置。
技术介绍
通常，现有技术利用激光具有的单色和定向特性，广泛用于激光照明，如激光显示。当一相干激光束透射过粗糙散射体或被粗糙散射体所反射时，在该散射体的粗糙表面会发生光波的干涉现象：散斑(Speckle)，所表现出的是颗粒状的明暗非均匀光强分布。在激光显示中，散斑的存在将会降低图像质量，因而必须被抑制。目前，受限制于激光二极管的光功率，大流明激光显示中一般采用光纤耦合的方法，将多个准直后的红、绿、蓝激光二极管经光纤束集成到一起，实现高功率光源照明。在激光散斑抑制上，ZL200820110227.1和CN201210088322.7公布了一种高速振动多模光纤束的方法及装置，实现多模光纤内全内反射光的动态调制，和光纤出射端口的散斑降低。这种高速振动多模光纤束激光散斑抑制装置，驱动装置的体积结构大，功耗高，结构复杂。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，解决现有的激光散斑抑制装置体积结构大，功耗高、结构复杂、操作工艺繁琐的技术问题。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种MOEMS(Micro-Opto-Electro-MechanicalSystems，微光电子机械系统)激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，其中：所述MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置由M×N个扫描微镜构成，其中M、N为任意正整数，单个扫描微镜由沿X轴旋转的固定锚点、沿Y轴旋转的固定锚点、沿X轴旋转的扭转梁、沿Y轴旋转的扭转梁和反射镜面组成，所述沿X轴旋转的扭转梁连接在所述沿X轴旋转的固定锚点和沿Y轴旋转的固定锚点之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点和反射镜面之间；在电磁力或静电力的驱动下，同步控制所有扫描微镜，实现X和Y方向的扫描，或独立控制单个扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面为圆形镜面。进一步，所述M×N扫描微镜的M×N数值，根据激光阵列的数值进行设置。进一步，所述反射镜面为方形、弧形或其它不规则形状。进一步，所述反射镜面可设置为透射、衍射装置。进一步，所述扫描微镜驱动方式是压电式或电热式。本专利技术的MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，可在电磁力或静电力等的驱动下，实现X和(或)Y方向的扫描，通过同步控制或独立控制等方法驱动扫描微镜，并结合激光阵列、微透镜阵列和光纤阵列，可实现激光散斑最优化抑制。采用本专利技术的激光散斑抑制装置，在达到同样散斑抑制效果的前提下，具有体积小、功耗低、结构简单、便于集成、操作便捷的优点。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的应用状态示意图。具体实施方式下面将结合附图和实施例对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述。如图1所示，一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，由M×N个扫描微镜1构成，其中M、N为任意正整数，单个扫描微镜1由沿X轴旋转的固定锚点1-1、沿Y轴旋转的固定锚点1-2、沿X轴旋转的扭转梁1-3、沿Y轴旋转的扭转梁1-4和反射镜面1-5组成，所述沿X轴旋转的扭转梁1-3连接在所述沿X轴旋转的固定锚点1-1和沿Y轴旋转的固定锚点1-2之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁1-4连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点1-2和反射镜面1-5之间；在电磁力或静电力等的驱动下，同步控制所有扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；或独立控制单个扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面1-5为圆形镜面。所述M×N个扫描微镜1的M×N数值，根据激光阵列的数值进行设置。所述扫描微镜1驱动方式是压电式或电热式。实施例1一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，由3×3扫描微镜1构成，单个扫描微镜由沿X轴旋转的固定锚点1-1、沿Y轴旋转的固定锚点1-2、沿X轴旋转的扭转梁1-3、沿Y轴旋转的扭转梁1-4和反射镜面1-5组成，所述沿X轴旋转的扭转梁1-3连接在所述沿X轴旋转的固定锚点1-1和沿Y轴旋转的固定锚点1-2之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁1-4连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点1-2和反射镜面1-5之间；在电磁力或静电力等的驱动下，同步控制所有扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；或独立控制单个扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面1-5为圆形镜面。实施例2一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，由1×3扫描微镜1构成，单个扫描微镜由沿X轴旋转的固定锚点1-1、沿Y轴旋转的固定锚点1-2、沿X轴旋转的扭转梁1-3、沿Y轴旋转的扭转梁1-4和反射镜面1-5组成，所述沿X轴旋转的扭转梁1-3连接在所述沿X轴旋转的固定锚点1-1和沿Y轴旋转的固定锚点1-2之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁1-4连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点1-2和反射镜面1-5之间；在电磁力或静电力等的驱动下，同步控制所有扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；或独立控制单个扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面1-5为方形镜面。实施例3一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，由2×3扫描微镜1构成，单个扫描微镜由沿X轴旋转的固定锚点1-1、沿Y轴旋转的固定锚点1-2、沿X轴旋转的扭转梁1-3、沿Y轴旋转的扭转梁1-4和反射镜面1-5组成，所述沿X轴旋转的扭转梁1-3连接在所述沿X轴旋转的固定锚点1-1和沿Y轴旋转的固定锚点1-2之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁1-4连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点1-2和反射镜面1-5之间；在电磁力或静电力等的驱动下，同步控制所有扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；或独立控制单个扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面1-5为弧形镜面。实施例4一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，由4×3扫描微镜1构成，单个扫描微镜由沿X轴旋转的固定锚点1-1、沿Y轴旋转的固定锚点1-2、沿X轴旋转的扭转梁1-3、沿Y轴旋转的扭转梁1-4和反射镜面1-5组成，所述沿X轴旋转的扭转梁1-3连接在所述沿X轴旋转的固定锚点1-1和沿Y轴旋转的固定锚点1-2之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁1-4连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点1-2和反射镜面1-5之间；在电磁力或静电力等的驱动下，同步控制所有扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；或独立控制单个扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面1-5可设置为透射、衍射装置。本专利技术的工作过程及原理：如图2所示，单个激光器所发射的激光束2到达MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置之后，在电磁力或静电力等的驱动下，由于电磁力(洛伦兹力)或静电力(库仑力)的驱动以及电场极性的变化，使得M×N个扫描微镜1在X方向和(或)Y方向进行二维扫描，并转变为扫描激光束3；经过调制的扫描激光束3被微透镜阵列4汇聚到多模光纤5的入射端口；M×N个扫描微镜1的扫描频率须等于或高于位于多模光纤5的出射端口外的光强探测器的刷新频率，最终可在多模光纤5出射端口实现散斑抑制。本专利技术能够以多种形式具体实施而不脱离专利技术的精神或实质，所以应当理解，上述实施例不限于前述的细节，而应在权利要求所限定范围内广泛地解释，因此，落入权利要求或其等效范围内的变化和改型都应为本专利技术所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，其特征在于：所述MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置由M×N个扫描微镜(1)构成，其中M、N为任意正整数，单个扫描微镜(1)由沿X轴旋转的固定锚点(1‑1)、沿Y轴旋转的固定锚点(1‑2)、沿X轴旋转的扭转梁(1‑3)、沿Y轴旋转的扭转梁(1‑4)和反射镜面(1‑5)组成；所述沿X轴旋转的扭转梁(1‑3)连接在所述沿X轴旋转的固定锚点(1‑1)和沿Y轴旋转的固定锚点(1‑2)之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁(1‑4)连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点(1‑2)和反射镜面(1‑5)之间；在电磁力或静电力的驱动下，同步控制所有扫描微镜(1)，实现X和Y方向的扫描，或独立控制单个扫描微镜(1)，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面(1‑5)为圆形镜面。

【技术特征摘要】
1.一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，其特征在于：所述MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置由M×N个扫描微镜(1)构成，其中M、N为任意正整数，单个扫描微镜(1)由沿X轴旋转的固定锚点(1-1)、沿Y轴旋转的固定锚点(1-2)、沿X轴旋转的扭转梁(1-3)、沿Y轴旋转的扭转梁(1-4)和反射镜面(1-5)组成；所述沿X轴旋转的扭转梁(1-3)连接在所述沿X轴旋转的固定锚点(1-1)和沿Y轴旋转的固定锚点(1-2)之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁(1-4)连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点(1-2)和反射镜面(1-5)之间；在电磁力或静电力的驱动下，同步控制所有扫描微镜(1)，实现X和Y方向的扫描，...

【专利技术属性】
技术研发人员：仝召民，陈旭远，贾锁堂，
申请(专利权)人：山西大学，
类型：发明
国别省市：山西;14