温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及微机电麦克风和电子系统。一种微机电麦克风包括：衬底(2)；传感器芯片(5)，其耦合到衬底(2)并集成微机电电声换能器(35)；控制芯片(6)，其接合到所述衬底(2)并且可操作地耦合到传感器芯片(5)；粘合环(16)，其围绕传感...该专利属于意法半导体股份有限公司;意法半导体（马耳他）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司;意法半导体（马耳他）有限公司授权不得商用。