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一种激光干涉光刻光学系统涉及激光干涉光刻加工技术领域，解决了现有技术中光学平台搭建复杂，易受到外界干扰，灵活度不高的问题。该系统包括：至少一个分光镜、至少一个反射镜A、多个反射镜B、至少两个柔性光学铰链、至少两个半波片和至少两个偏光镜；柔性...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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