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一种线条粗糙度的测量方法及系统技术方案
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下载一种线条粗糙度的测量方法及系统的技术资料
文档序号:14480021
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本发明提供一种线条粗糙度的测量方法及系统,确定多个像素阈值,并获得每个像素阈值下的边缘分布,在对边缘分布进行分析后,获得每个像素阈值下的线条粗糙度,通过对所有像素阈值下的线条粗糙度进行比较,选择线条粗糙度连续变化时的最小值作为待测结构的线条...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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