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电子输运通道为斜跃迁‑微带型的量子级联红外探测器制造技术
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文档序号:14469848
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一种电子输运通道为斜跃迁‑微带型的量子级联红外探测器,包括:一衬底;一下接触层,其外延于衬底上;一功能层,其外延于下接触层上面;一上接触层,其外延于功能层上;一上接触电极,其制作在上接触层的表面;一下接触电极,其制作在下接触层的表面,位于功...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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