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一种具备高正向浪涌能力的沟槽式肖特基芯片制造技术
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下载一种具备高正向浪涌能力的沟槽式肖特基芯片的技术资料
文档序号:14463908
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种具备高正向浪涌能力的沟槽式肖特基芯片,属于半导体器件制造领域。包括衬底和衬底上方的外延层,衬底与外延层的半导体类型相同,在外延层的表面设置有多个沟槽,沟槽的内部设置有氧化层并填充有多晶硅,其特征在于:在所述的外延层的表面间隔设置有多个与外...
该专利属于淄博汉林半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过淄博汉林半导体有限公司授权不得商用。
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