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本发明公开了一种新型非制冷红外焦平面探测器像元及其制作方法，属于非制冷红外焦平面探测器领域技术领域。其自半导体衬底往上，依次包括三层结构，第一层的桥腿结构包括金属反射层、绝缘介质层、第一支撑层、第一支撑层保护层、第一金属电极层和第一氮化硅介...
该专利属于烟台睿创微纳技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台睿创微纳技术股份有限公司授权不得商用。

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