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本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,其包含:(A)20‑75重量%的可碱水溶性光固化树脂,(B)3‑20重量%的功能性单体,(C)3‑14重量%的环氧树脂,(D)2‑10重量%的光引发剂,(E)15‑30重量%的填料,(F)4‑25重量%的溶剂...该专利属于深圳市容大感光科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市容大感光科技股份有限公司授权不得商用。
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