下载一种碳/氧化镍电阻存储器薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:14451877

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本发明公开了一种碳/氧化镍电阻存储器薄膜的制备方法,首先制备氧化镍薄膜;随后在氧化镍薄膜上制备碳膜,得碳/氧化镍复合薄膜,使用溅射仪对碳/氧化镍复合薄膜进行顶电极制备,即得。本发明将碳膜与氧化镍薄膜进行复合,相比较于其他具有阻变特性的材料,...
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