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与绝缘体上硅基板上的射频滤波器有关的装置和方法制造方法及图纸
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下载与绝缘体上硅基板上的射频滤波器有关的装置和方法的技术资料
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一种与绝缘体上硅(SOI)基板上的射频(RF)滤波器有关的装置和方法。在一些实施例中,RF装置可以包括包含第一侧和第二侧的诸如SOI裸芯的硅裸芯。硅裸芯可以进一步包括多个通孔,每一个通孔被配置为提供硅裸芯的第一侧和第二侧之间的电连接。RF装...
该专利属于天工方案公司所有,仅供学习研究参考,未经过天工方案公司授权不得商用。
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