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本发明提供一种机械卡盘及半导体加工设备，包括用于承载晶片的基座以及用于将该晶片固定在基座上的压环，该压环用于固定晶片的作用面与竖直面之间的夹角为B，基座的上表面与晶片相接触的作用面与竖直面之间的夹角为C，夹角B与夹角C相等。本发明提供的机械...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。