下载一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置和方法的技术资料

文档序号:14412276

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本发明公开了一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置以及气体渗透率的测试方法,该装置包括:真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统,所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2),所述辐射系统包括光源(5)及照明系统,所述抽气系统包...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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