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本实用新型涉及一种扫描磁场的离子镀阴极，它包括靶座、磁座、固定磁体、内部磁体、气体驱动系统、阴极和冷却水；所述靶座内的底部上设有气体驱动系统，气体驱动系统上设有磁座，内部磁体置于磁座的内部边缘，内部磁铁和磁座在气体驱动系统的作用下在气体驱动...
该专利属于上海金科纳米涂层技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海金科纳米涂层技术有限公司授权不得商用。

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