专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中国计量大学
>
一种基于超磁致伸缩薄膜的悬臂梁叉指电容磁场传感探头制造技术
>技术资料下载
下载一种基于超磁致伸缩薄膜的悬臂梁叉指电容磁场传感探头的技术资料
文档序号:14370939
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型是一种基于超磁致伸缩薄膜的悬臂梁叉指电容磁场传感探头,属于微悬臂梁传感器领域。所述的传感探头包括硅基底、固支端、悬臂梁、铬金属膜和超磁致伸缩薄膜。固支端位于硅基底的两侧,悬臂梁通过固支端与硅基底连接,每侧三个悬臂梁,铬金属膜镀在硅...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。