下载一种高压芯片钝化层的制造方法的技术资料

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本发明涉及一种高压芯片钝化层的制造方法,包括:制造高压芯片正面;背面减薄加工;制造高压芯片钝化层;制造除背面减薄工艺的高压芯片背面。本发明提供的技术方案在高压芯片制造过程中,将钝化层工艺进行优化,减少芯片的应力,增强钝化层与芯片的粘合,提高...
该专利属于国网智能电网研究院;国网浙江省电力公司;国家电网公司所有,仅供学习研究参考,未经过国网智能电网研究院;国网浙江省电力公司;国家电网公司授权不得商用。

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