下载斐索激光干涉仪标准镜头及斐索激光干涉仪的技术资料

文档序号:14350777

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本发明公开了一种斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪。该斐索激光干涉仪标准镜头包括:光阑及同轴设置的标准镜头主体,所述标准镜头主体包括面向所述光阑的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面,所述第一表面上设置有中心对称的衍射环。本发明提...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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