下载一种半导体器件的制造方法和电子装置的技术资料

文档序号:14345638

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本发明提供一种半导体器件的制造方法和电子装置,涉及半导体技术领域。包括:提供第一衬底,从第一衬底的第一表面形成位于第一衬底内的深沟槽隔离结构;在第一表面一侧的第一衬底上形成至少一个前端器件,形成覆盖第一表面的第一介电盖帽层以及位于第一介电盖...
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