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本发明公开了一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置及方法，该方法包括：接收用户的选择操作，选择目标机台服务器；于接收到用户的选择操作后，根据用户的选择操作从目标机台服务器下载待检查程式；采用导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数，生...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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