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本发明提供一种简单低成本、可提高生产效率的光掩模集成微塑型方法，其包括如下步骤：S101、在显微镜载玻片的表面涂覆形成牺牲层，并进行烘焙；S102、向微型模具的型腔内滴入光刻胶，并盖上冷却后的显微镜载玻片；S103、对微型模具先进行曝光前预...
该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。

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