温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种晶圆片的揉搓清洗装置，包括安装于底座上的清洗腔、揉搓装置，所述揉搓装置包括固定于底座上的升降气缸，所述升降气缸的活塞杆端部安装有固定架，所述固定架上固定安装有揉搓气缸，所述揉搓气缸水平设置，揉搓气缸的活塞杆端部固连有位于所述清...
该专利属于无锡宏纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡宏纳科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。