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一种介质隔离式压力传感器包括压力感测元件和顶盖。压力感测元件包括具有埋置密封腔体的键合晶片衬底。埋置密封腔体的壁形成感测隔膜。一个或更多个感测元件由感测隔膜支撑，以及一个或更多个键合焊盘由键合晶片衬底的上侧支撑。键合焊盘分别定位成邻近感测隔...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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