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本公开涉及悬臂压电换能器。压电换能器包括：锚定件(16a)；半导体材料的梁(25)，从锚定件(16a)开始在平行于第一轴(Y)的主方向上以悬臂方式延伸，并且具有平行于第一平面(XY)的面(25c)，第一平面由第一轴(Y)和垂直于第一轴(Y)...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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