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本发明提供一种平均粒径为0.1μm～100μm的范围且圆球度为0.95～1.0的球状的碳氧化硅微粒子及其制造方法、润滑剂、研磨剂。本发明包括通过以下方式获得的球状的碳氧化硅粉粒体及其制造方法：将有机三烷氧基硅烷在pH值3～6的乙酸水溶液中水...
该专利属于捷恩智株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过捷恩智株式会社授权不得商用。

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