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用于形成二氧化硅层的组成物、用于制造二氧化硅层的方法、二氧化硅层以及电子装置制造方法及图纸
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下载用于形成二氧化硅层的组成物、用于制造二氧化硅层的方法、二氧化硅层以及电子装置的技术资料
文档序号:14292203
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本发明涉及一种用于形成二氧化硅层的组成物、用于制造二氧化硅层的方法、二氧化硅层以及电子装置。所述用于形成二氧化硅层的组成物包含含硅聚合物和溶剂,其中所述含硅聚合物在1H-NMR光谱中具有小于或等于12的Si-H积分值的总和。所述Si-H积分...
该专利属于三星SDI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星SDI株式会社授权不得商用。
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