下载场效应晶体管的制备方法和场效应晶体管的技术资料

文档序号:14277276

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本发明提供了一种场效应晶体管的制备方法和场效应晶体管,其中,所述制备方法包括:在对所述第一类离子区域进行驱入处理的过程中,形成第一介质层,以完成所述结型场效应管的制备;在判定所述第一介质层的厚度处于预设厚度范围后,对待制备的分压环进行光刻处...
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