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本申请提供一种包含嵌段共聚物和有机溶剂的图案处理组合物。还提供使用所描述的组合物的图案处理方法。所述图案处理组合物和方法在半导体装置制造中发现特定可应用性，用于提供高分辨率图案。...
该专利属于罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司授权不得商用。

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