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本发明涉及一种内外喷气式低压化学气相沉淀腔，包括腔体，所述腔体中内置有导气结构及用于支撑晶圆的支撑结构，所述导气结构为一环形腔套，所述环形腔套的内壁安装有多根径向设置的外导气管，所述支撑结构包括一支撑管，所述支撑管轴向设置于所述环形腔套中，...
该专利属于无锡宏纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡宏纳科技有限公司授权不得商用。

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