下载一种非制冷宽波段红外探测器的技术资料

文档序号:14271946

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本实用新型公开了一种非制冷宽波段红外探测器,其单元器件包括硅基底、支撑层、金属电极、宽波段红外吸收层、热敏感层及悬空孔;热敏感层置于宽波段红外吸收层上方或下方的中间;金属电极置于热敏感层的两旁、宽波段红外吸收层两端的上方;支撑层置于硅基底上...
该专利属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院重庆绿色智能技术研究院授权不得商用。

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