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本发明提出了一种能够在加工处理期间有效地保持工件的小尺寸电磁卡盘和配备有该电磁卡盘的多功能研磨机。电磁卡盘(61至64；161至164)包括电磁卡盘主体(170)和推压构件(180、280)，其中，电磁卡盘主体(170)设置有多个磁极部(1...
该专利属于株式会社捷太格特所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社捷太格特授权不得商用。

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