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本发明提供了一种复合鳍的形成方法，包括：提供衬底；通过侧墙图案转移，在衬底上形成第一侧墙掩膜；通过侧墙图案转移，在第一侧墙掩膜的侧壁上形成第二侧墙掩膜；以第一侧墙掩膜和第二侧墙掩膜为掩蔽，进行衬底的刻蚀，以形成鳍，以及去除第一侧墙掩膜，并刻...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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