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武汉华星光电技术有限公司
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阵列基板及液晶显示面板制造技术
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文档序号:14239204
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本发明公开了一种阵列基板及液晶显示面板,该阵列基板包括:在氧化物半导体材料层形成后,在射频照射下、并在压缩空气中进行退火中形成钝化层或栅极绝缘层。通过上述方式,本发明能够多个调节氧化物薄膜晶体管的阈值电压之间的差异,并进而为减少氧化物半导体...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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