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下载光学编码器的技术资料

文档序号:14235944

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本发明提供一种光学编码器,其中,标尺(140)包括以周期P形成的标尺光栅。光源光栅(120)包括以周期2P形成的光栅,该光源光栅(120)配置在光源(110)和标尺(140)之间。干涉条纹检测部件(150)被配置为能够以周期P来检测干涉条纹...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。

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