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本发明提供一种LTPS阵列基板的制造方法，所述制造方法包括：在一下层上形成一基层；在所述基层上形成一上层，所述上层包括与所述基层的叠加部和非叠加部，所述非叠加部与所述下层接触；在所述上层上形成一光阻层；在所述光阻层上放置一掩膜板，利用光刻工...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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