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SnO2掺杂ZnO溅射靶材的制备方法,选择粒径1‑5μm,纯度≥99.95%的SnO2和ZnO粉为原料,使用混合设备将其按比例混合均匀,其中SnO2粉占混合粉质量比的20‑50%。装配石墨模具,在石墨模具内腔表面涂有0.5mm厚的耐高温的Z...
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