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提高蓄冷材粒子相对于冷头的载物台的充填率，且抑制制冷剂气体的通气性的降低。本发明的冷头的制造方法，具备：在蓄冷容器内充填第一蓄冷材粒子群的工序、以及在所述蓄冷容器内，由金属网材与所述第一蓄冷材粒子群分隔并充填第二蓄冷材粒子群的工序，作为所述...
该专利属于株式会社东芝;东芝高新材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝;东芝高新材料公司授权不得商用。

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