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一种高一致性阻变存储器及其制备方法技术
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文档序号:14182499
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本发明提供一种高一致性的阻变存储器件及其制备方法,属于CMOS超大规模集成电路技术领域。该阻变存储器包括衬底和位于衬底上的下电极‑阻变薄膜‑上电极结构,下电极位于衬底之上,上、下电极之间为阻变薄膜,所述阻变薄膜的局部掺杂金属,所述掺杂区域为...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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