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多晶硅、其生产方法及生产装置制造方法及图纸
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文档序号:1414064
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内部具有气泡、表观密度为2.20g/cm<sup>3</sup>以下的带气泡多晶硅。该硅在破碎时微细粒子的发生非常少,而且可容易粉碎。这样的硅通过在氢的存在下,使含氢熔融的硅的液滴在0.2~3秒的时间内自然落下,使之冷却到液滴中封闭有氢气泡...
该专利属于德山株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过德山株式会社授权不得商用。
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