下载用于在SOI衬底特别是FDSOI衬底上制造的晶体管之间局部隔离的方法以及对应的集成电路的技术资料

文档序号:14140120

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集成电路,包括SOI类型的衬底(1),包括位于埋设绝缘层(11)之上的半导体膜(12),埋设绝缘层自身位于支撑衬底(10)之上,半导体膜(12)包括第一区域(Z1),在半导体膜(12)的第一区域(Z1)之上的第一图案(21)形成了第一MOS...
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