下载掩膜版及掩膜曝光系统、拼接曝光方法、基板的技术资料

文档序号:14113013

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本发明提供了一种掩膜版及掩膜曝光系统、拼接曝光方法,本发明中,在主体曝光区域的第一侧边缘设置第一曝光区域,第二侧边缘设置第三曝光区域,还设置位于第一曝光区域和第三曝光区域之间的第二曝光区域;其中,所述第一曝光区域的遮光图案与所述第二曝光区域...
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