下载碳纳米管生长装置及方法的技术资料

文档序号:1409904

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本发明涉及一种碳纳米管生长装置,其包括:一反应腔,其具有一进气口;至少一微流管,其与该进气口相连接,该微流管用于碳纳米管生长用碳源气的预解离;及一加热装置,用以对通过该微流管的碳源气进行加热解离。本发明通过设置一向反应腔提供碳源气的微流管及...
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