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采用高温湿法进行的蓝宝石减薄和平滑化制造技术
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下载采用高温湿法进行的蓝宝石减薄和平滑化的技术资料
文档序号:14082091
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本发明提供一种用于使蓝宝石衬底减薄的方法,所述方法包括:将蓝宝石衬底置于预热槽中,以升高所述蓝宝石衬底的温度;将经预热的蓝宝石衬底置于温度为200~400℃、包含含有H2SO4和H3PO4中的至少一种的溶液的湿法蚀刻槽中;监测时间,以确定何...
该专利属于MT系统公司所有,仅供学习研究参考,未经过MT系统公司授权不得商用。
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