下载DDD MOS器件结构及其制造方法的技术资料

文档序号:14080154

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本发明公开了一种DDD MOS器件结构,包括:P型衬底上方的N型埋层,N型埋层上方的N型外延,N型外延上部平列设置的N型漂移区和P阱,P阱上部平列设置N型重掺杂区和P型重掺杂区,栅氧化层位于N型漂移区和P阱上方,多晶硅栅位于栅氧化层上方,第...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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