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本实用新型涉及一种窗口式氮化硅板，包括有硅垫底层，其特点是：硅垫底层的上方外围设置有单晶硅外框，硅垫底层上分布有凹槽结构，凹槽内分布有若干单晶硅支架梁，若干单晶硅支架梁相互之间间隔排布，构成框架阵列，框架阵列之间形成氮化硅窗口，硅垫底层的上...
该专利属于苏州原位芯片科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州原位芯片科技有限责任公司授权不得商用。

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