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一种化学冶金提纯多晶硅的方法技术
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文档序号:1406836
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本发明一种化学冶金提纯多晶硅的方法属于用化学冶金提纯多晶硅的技术领域,特别涉及一种利用酸、碱等化学手段提纯硅到99.99%纯度的多晶硅的方法。利用扫描电镜观察、记录工业硅晶粒的大小,再将硅晶粒破碎到合适的程度,并用氢氧化钠溶液去除硅粉的氧化...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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