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本发明提供一种对多个基板实施处理的基板处理系统，其包括：收纳多个基板并对其实施规定的处理的圆环状的处理腔室；载置用于收纳多个基板的盒的盒载置部；和在该处理腔室与该盒载置部之间搬送基板的基板搬送机构，在该处理腔室内，俯视时同心圆状地配置有多个...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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