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本发明公开了一种氧化物薄膜及其制备方法、薄膜晶体管及其制备方法。根据本发明氧化物薄膜的制备方法包括：涂布前烘成膜步骤：将含有化学活性组分的有机溶液进行涂布和前烘形成薄膜，其中，化学活性组分中包括重氮萘醌感光树脂；掩膜曝光步骤：在薄膜上进行掩...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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