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一种音叉型微机电陀螺制造技术
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下载一种音叉型微机电陀螺的技术资料
文档序号:14048547
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本发明属于惯性测量技术领域,具体涉及一种微机电陀螺。一种音叉型微机电陀螺,其中,包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分,在布局上呈左右对称布置,并且左部分或右部分呈上下对称布置,左部分或右部分均包括驱动部分、检测部分、驱...
该专利属于北京自动化控制设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京自动化控制设备研究所授权不得商用。
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